西安电子科技大学技术物理系是一个实力比较雄厚的老系。

　　该系的前身是无线电物理与器件系，成立于1960年8月。当时设有信息论、天线与电波传播、微波技术、半导体物理与器件、无线电元件与材料、电真空器件等6个专业。后经几次专业调整，1979年，该系易名为技术物理系。这时专业调整为激光技术、红外技术、半导体物理与器件等3个专业。

　　1987年4月又进行了一次机构和专业调整，从系里分出一部分教师和仪器设备，成立微电子研究所，所与系并行处级单位。该所承担微电子技术专业的教学工作。与此同时，把激光技术和红外技术两个专业，合并为光电子技术专业，恢复了电子材料与元器件专业。目前，技术物理系设有电子科学与技术、微电子学等两个专业，形成现在具有物理电子学学科、微电子学与固体电子学学科等2个博士点；光学工程、物理电子学、材料物理与化学、微电子学与固体电子学等4个硕士点(其中微电子学与固体电子学博士点和硕士点设在微电子研究所)的大好局面。

　　自1977年恢复高考以来，该系为国家培养了硕士生200多名、本科生2000多名、专科生800多名。截止到1998年9月，这个系(含微电子所)有在读博士生10名、硕士生60名、本科生700余名。

　　技术物理系现设有3个教研室、1个研究室、1个专业实验室和系办公室。全系现有教职工62人，其中具有高级职称29人，具有中级职称18人；有博士导师4人，具有博士学位的教师8人，硕士学位的教师11人。目前，这个系承担着国家自然科学基金、国防预研基金、国防科工委、电科院军事预研基金、陕西省科委，以及横向的科研项目40多项，大部分项目是基础性研究任务。近10年来，科研经费逐年增加，1998年达到200余万元。1992年1月至1997年8月，在国内外学术刊物上共发表论文232篇，其中被收录三大检索的论文达57篇，名列全校前茅。

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