“葡萄和玉米都迎来了收获的季节,国家交给我的重大项目,什么时候才能结出硕果呢?”站在窗前,望着葡萄园和玉米田,姜谦陷入沉思。
姜谦是沈阳拓荆科技有限公司总经理。他祖籍辽宁,生于台湾,美国布兰迪斯大学物理学博士,主要专长是半导体先进工艺技术及工艺集成等领域,曾在英特尔公司工作19年,担任研发部负责人。
回国前,他任美国诺发公司(美国第二大IC装备企业)技术副总裁,在集成电路工艺方面有很深造诣,其多项关键发明成为半导体行业国际标准,拥有50余项专利,在行业内被誉为具有“一个人带动一个产业”的能力。
鉴于他的行业影响力,在中科院和沈阳市政府的邀请下,2005年,姜谦返回祖国、返回家乡,担任在辽宁省内落实的国家级科研项目的负责人。
虽然论血缘,姜谦是地地道道的东北人,他父亲是辽宁辽阳人、母亲是吉林白城人,但他与东北的真正情缘,是在一次邂逅中建立的。
2005年,中科院和沈阳市政府派出代表团赴美国招商访问,作为接待方的“驻美中国东北同乡会”负责人,希望能够找到一位“有权威、有份量”的东北同乡来迎接代表团。于是,姜谦作为东北同乡的杰出代表,陪伴国内代表团考察、访问。
当时全球IC设备市场完全被美、德、日、瑞士等生产商垄断,中国在该领域的发展刚刚起步,需要一位行业权威带领中国IC装备制造业突出重围,突破欧美国家的技术封锁。
姜谦所任职的企业,完全控制在白人高管的手中,作为研发主管的他,曾经提议将研发中心搬迁到亚洲,却遭到了白人领导层的反对和抵制。
姜谦和代表团的这次邂逅,让双方一下子找到了寻觅已久的“梦中情人”并成功“牵手”。姜谦放弃了在美国优越的生活,回国创业。而中科院和沈阳市政府也将把“国之使命”交付给这位国际知名专家。
2006年,姜谦回到祖国,来到了沈阳浑南国家级高新技术产业园区创业,成立了沈阳拓荆科技有限公司。他还作为沈阳市政府顾问,对沈阳发展IC装备业提出了很多建设性的意见,为沈阳的IC装备产业在全国树立领军地位,奠定了决定性的基础。
姜谦短时间就完成了国家发改委项目“IC成膜6英寸PECVD设备研发及产业化”的研发,质量和品质达到国际先进水平,填补了国内该领域应用的空白,现已批量生产和销售,被评为国家重点新产品。
经过多年努力,2011年10月,由姜谦担纲的国家重大科技专项的首台国产12英寸PECVD样机出厂,指标达到设计要求,这是我国自主开发研制的首台12英寸PECVD设备,是关键IC装备国产化的重大突破。
12英寸PECVD技术一直被欧美以及日本等国家所垄断,设备进口受到发达国家的严格限制。拥有完全自主知识产权的12英寸PECVD设备样机成功研发,不仅标志着我国在集成电路高端设备(PECVD)研究和制造领域技术达到了国际先进水平,使我国IC薄膜设备制造水平与国际IC制造业主流技术水平保持同步,还从根本上打破了国外产品的市场垄断和技术垄断,而且确立了沈阳在全国的集成电路装备研发与制造领域同北京、上海三足鼎立的地位。(记者:王晨)
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