清华大学微电子所：全国微电子学领域首个重点学科点

　　清华大学微电子所

　　全国微电子学领域首个重点学科点

　　清华大学微电子学研究所成立于1980年9月，第一任所长由全国著名半导体物理学家、中科院院士李志坚担任。该所是国家重点支持的北方微电子研究开发基地的主要组成单位，是高素质微纳电子科技人才的培养基地，1988年被定为全国微电子学领域第一个重点学科点。

　　【硬件环境】两条集成电路工艺加工线

　　清华大学微米/纳米技术研究中心拥有一条4英寸1微米级集成电路工艺线，具有完备的MEMS加工技术与设备，主要用于加工与MEMS器件相关的项目流片。另外还有一条集成电路开发与工业性试验线，主要进行各类新型SiGe微波功率半导体器件与集成电路以及其他特殊用途的硅集成电路的研究开发，并且可以提供MOSMPW(MOS多项目晶圆)服务。

　　【师资科研】器件和设计实力最强

　　清华大学微电子所主要分器件、工艺、设计和CAD四个研究方向。在这四个研究领域中，该所器件和设计实力最强，研究资金丰厚。

　　器件方向，主要强在理论，其研究方向包括新器件结构与模型、新材料与工艺、新概念与原理，其特点在于新材料和新器件方向结合、LIGA技术与传统IC方向结合、微纳米级器件设计与小尺寸器件模型建立相结合。微纳器件与系统研究室目前由任天令教授主管，研究方向包括MEMS、新型半导体存储技术、纳电子与自旋电子学和微纳电子技术新材料等。在MEMS研究方面，器件组是国内惟一重复出当年的静电微马达的科研单位。

　　工艺方向，包括了研究传统的CMOS工艺技术以及一些新型的工艺技术如数模混合工艺等等。其中的集成电路开发与工业性试验线由刘志弘教授任主任，该组的主要研究方向是：深亚微米集成电路制造、SiGe技术、非挥发性存储技术、POWER器件及集成电路，以及集成电路生产自动化控制等。

　　设计方向更偏向于工程。在各大高校中，清华的电路设计是一流的，与各大公司、研究所以及国内外foundry都有较多的合作，研究课题涉及数字多媒体、神经网络及模糊电路、高层次综合技术(原大唐总裁魏少军在这个方向为北大清华的研究生开有任选课)、IC测试、多媒体VLSI、加密电路及CPU等等。集成电路与系统设计研究室由王志华教授领导，研究领域为集成电路与系统设计方法学、模拟和射频集成电路设计、通讯集成电路设计和高速实时信号处理。

　　CAD技术研究室的主任为王燕教授，该组的主要研究方向有：极小尺寸MOS器件输运机理研究、纳米级量子、电子器件结构和理论分析、微/纳米级器件的CAD软件研究、微/纳米级新结构器件研究、建库方法学研究和用于SOC存储器类的IP核开发、射频(RF)电路版图设计的电路提取和验证，以及集成电路制造的计算机辅助管理系统(IC-CAM系统)研发等。

　　【招生信息】

　　清华研究生微电子所难考的原因，在于他接收的考试生比较少(2007年仅招10人)，而保送生为30～40人。清华大学在深圳也设有研究生院，但是一般只培养工程硕士(专业硕士的一种)。微电子所2007年在北京、深圳两地招收工程硕士人数总共为74名。

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