中科院微电子所、微系统所和半导体所

　　中科院微电子所、微系统所和半导体所

　　以研究员为科研主力

　　中科院和微电子领域关系最密切的研究所有3个：微电子所、半导体所和微系统所，这3个所的师资、资金实力在国内同行中处于领先水平。

　　微电子所 核心设备国内一流

　　中科院微电子所的核心设备是一流的，它有一条用于0.8微米IC工艺研究的实验线，“高密度等离子体刻蚀机和大角度离子注入机”为国家“863”集成电路装备重大专项；微细加工与纳米技术实验室装备了分辨率30nm的JEOL JBX-5000LS电子束光刻系统，分辨率0.35u的MEBES 4500电子束制版系统以及和微细加工有关的反应离子刻蚀机、电子束镀膜系统、光学制版系统、LPCVD以及JBX-6A2电子束制版系统。在北京地区，目前惟一能做电子束光刻的科研单位就是微电子所。

　　该所目前共有7个研究室，分别为硅器件与集成技术、专用集成电路与系统、微细加工与纳米技术、微波器件与集成电路、通讯与多媒体SOC、电子系统技术和总体电子设计平台与共性技术。各个研究室的研究方向基本涵盖了器件电路设计开发的各块领域，互补而又不冲突，相互之间的师资分配也很合理。

　　【招生信息】

　　微电子所2007年计划招生43人。据相关老师介绍，2008年微电子所要争取硕士招生人数达到60人。

　　微系统所

　　两室五组，科研领域广

　　中科院微系统所拥有：传感技术国家重点联合实验室与微系统技术国家级重点实验室(隶属MEMS组)、信息功能材料国家重点实验室(隶属材料组)。

　　微系统所主要有5个研究组：王跃林教授的MEMS组，下有微系统工艺平台和微系统封装平台，研究方向包括MEMS传感器和执行器技术研究、光通信微系统研究、生物芯片等；宋志棠的材料组，拥有化合物半导体器件工艺平台和纳米半导体薄膜材料加工测试平台，主要研究相变存储器、光电子和微波材料与器件、太赫兹半导体器件和物理；另外3个组是SOI组、无线组和能源(电池)组。

　　除了这5个主要的研究组外，还有两个单独的课题组是RF和DNA。微系统所在科研成果的产业化方面很有特色，在不久前揭晓的国家科学技术奖评选中，该所的“高端硅基SOI材料研发和产业化”项目获2006年度国家科技进步一等奖。

　　微系统所的一个最大特点在于研究涉及的领域很广，各个研究室之间相对独立而又不乏合作。整个微系统所是一个很完善的系统，部门之间又有EDA与网络信息中心作为公共支撑。该所给学生提供的助研金比较多，差不多是其他科研院所的两倍，甚至其硕士生的助研金比别的单位的博士生都高。

　　【招生信息】

　　微系统所每年招生75人左右，其中大部分在微电子与固体电子学(47人)和通信与信息系统(20人)，毕业生主要就业方向是国内外的大公司，如AGILENT、华为等。

　　半导体所 主要研究物理器件

　　微电子专业最初是从半导体专业中分离出来的，目前的中科院半导体所依然保留有微电子研究和发展中心，该中心主要从事同微电子相关的半导体器件和电路的研究，包括抗辐射CMOS/SOS及CMOS/SOI集成电路、SiC高温半导体器件、微电子机械系统(MEMS)、磁存储器(MRAM)、共振隧穿二极管(RTD)和系统集成芯片(SOC)设计及应用。可以看出，半导体所的主要优势在于深厚的物理理论基础，主要研究领域还是器件方向，擅长半导体光电子和微电子器件。

　　半导体所微电子中心每年招收的研究生不多，但毕业去向都很不错，主要去向为国内外知名公司，成为如北京华虹NEC、上海先进半导体等公司的IC设计部门的技术骨干。

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